安川变频器应用于半导体真空泵行业

应用介绍

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。我们日常生活中的电子产品，如计算机、移动电话等当中的核心单元都和半导体有着极为密切的联系。

在半导体制造的多个工艺环节中，包括刻蚀、镀膜等等。为了提高半导体制造过程的精度和均匀性，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。而获得真空 环境所需的设备即为真空泵。

半导体用干式真空泵设备


半导体用真空泵一般容易存在启动、加速响应慢，抽速不够稳定；运行效率不高；开放大气时易发生过载、过流故障而停机；面对雷雨季节及供电环境不好时， 易因瞬时停电或电压暂降而造成真空泵停机，造成半导体生产损失。
采用安川变频器后设备的特性
稳定性
高响应性，抗冲击负载能力强，使真空泵稳定运行。

高启动转矩
转矩极限可根据速度切换，使泵在启动及加速过程更快，更稳定。

**性
应对半导体不同工艺，通过专用功能，防止过载前提下保证真空泵**运行。

节能
可**、稳定驱动配置PM电机的真空泵，更加节能。

高信赖性
即使发生瞬时停电或电压暂降，可使真空泵保持输出，电压恢复后继续运行。

真空泵设备推荐机型
GA700 高性能多功能变频器
工业通用型高性能矢量变频器。相比原来的产品，具有更高性能·更高品质。
GA500小型高性能变频器
安川电机始终站在客户的立场上，以毫不妥协的品质将满足客户需求的变频器提供给客户。

安川变频器在国内外的真空泵设备上广泛应用，业内**度高。能够使半导体用真空泵在不同的半导体工艺下，稳定、**运行，满足客户需求。

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。我们日常生活中的电子产品，如计算机、移动电话等当中的核心单元都和半导体有着极为密切的联系。

在半导体制造的多个工艺环节中，包括刻蚀、镀膜等等。为了提高半导体制造过程的精度和均匀性，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。而获得真空 环境所需的设备即为真空泵。

半导体用干式真空泵设备


半导体用真空泵一般容易存在启动、加速响应慢，抽速不够稳定；运行效率不高；开放大气时易发生过载、过流故障而停机；面对雷雨季节及供电环境不好时， 易因瞬时停电或电压暂降而造成真空泵停机，造成半导体生产损失。
采用安川变频器后设备的特性
稳定性
高响应性，抗冲击负载能力强，使真空泵稳定运行。

高启动转矩
转矩极限可根据速度切换，使泵在启动及加速过程更快，更稳定。

**性
应对半导体不同工艺，通过专用功能，防止过载前提下保证真空泵**运行。

节能
可**、稳定驱动配置PM电机的真空泵，更加节能。

高信赖性
即使发生瞬时停电或电压暂降，可使真空泵保持输出，电压恢复后继续运行。

真空泵设备推荐机型
GA700 高性能多功能变频器
工业通用型高性能矢量变频器。相比原来的产品，具有更高性能·更高品质。
GA500小型高性能变频器
安川电机始终站在客户的立场上，以毫不妥协的品质将满足客户需求的变频器提供给客户。

安川变频器在国内外的真空泵设备上广泛应用，业内**度高。能够使半导体用真空泵在不同的半导体工艺下，稳定、**运行，满足客户需求。